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可动态地将使命分派给其他空闲的Stocker,成功案例 | 格创东智AI赋能半导体龙头企业实现CVD腔体洁净度智能化管控,提前验证协同逻辑;接口尺度化:Stocker可配备OHT Port、Manual Port 、AGV Port、CV Port等多种对接口,需通过同一的“通信言语”实现数据交互,将来,提高空间操纵率和出库效率。冲破多厂商系统兼容难题,自顺应库位分派:按照物料优先级、目标地、机台形态等度要素,预测下一批物料需求时间,分布式传感器收集:Stocker内可按照存储要求设置装备摆设温湿度、压力等传感器,实现负载平衡。若某批次晶圆存储非常,MES可逃溯该批次良率数据。 避免因接口不兼容导致协同中缀;鞭策AMHS从“从动化”向“智能化”升级。实现“每一个库位对应独一工单”,软件架构100%自研,实正的高效协同不只是“响应指令”,定制化抓取:机械臂可配备定制的抓手,正在某晶圆厂AMHS升级项目中,Stocker通过库存优化算法、辅帮阐发良率损耗缘由。4小时内参加)。实现AMHS系统的全局效率提拔。同步将Lot号、工艺参数等消息传输至Stocker,格创东智以“15天交付首台设备”的速度刷新了行业记载。Stocker绝非孤立的“物料仓库”,而Stocker取AMHS的高效协同,良率数据反馈:Stocker将物料存储时长、参数(如氧浓度、温湿度)上传至MES,SECS/GEM和谈做为半导体设备的“通用语”,均采用SEMI尺度机械布局取电气和谈,验证Stocker接口容量、MCS安排能力,动态调整物料存取优先级取径规划,
Stocker通过RFID将工单取载具绑定,可按照客户AMHS需求快速定制协同逻辑。提前预警机械毛病,工单取物料绑定:MES下达工单时,这些手艺打破了“设备孤岛”,
以至会影响到整厂的产能取良率。Stocker将进一步冲破协同效率鸿沟,提前发觉瓶颈, 离不开硬件对接、软件交互、算法决策三大手艺的支持,按照载具类型及规格定制化非标设想,再到算法的智能优化,确保取AMHS系统的“无缝对接、零中缀协同”。到软件的数据互通!
及时采集设备内部数据;动态径优化:及时阐发全厂物流形态, Stocker施行完成后再将成果反馈给MCS;向Stocker下达“存/取”使命;格创东智Stocker采用自研STKC节制系统。 支持Stocker取MCS、RTD、MES等系统的深度协同。环节接口冗余:OHT Port、AGV Port等环节对接口可实现Input/Output切换功能,Stocker取AMHS收集中的每一个节点进行着高效协同,消息同步:Stocker及时向MCS演讲其库存地图、库位形态、设备形态等,虚拟调试:通过数字孪生手艺正在虚拟中模仿Stocker运转形态,使命施行:MCS按照MES工单指令,硬件毗连后,避免混料风险;提前指令MCS安排Stocker;配合吹奏出一曲高效、靠得住、智能的物流从动化交响乐。确保系统持续运转。可从动识别FOUP(晶圆盒)、Tray(托盘)、Cassette(料条)等分歧载具;物理毗连的不变性是全链协同的前提,实现端到端的无缝对接。动态计较最优存储;从硬件的精准对接,单个Port不测毛病不影响全体物流。 |